是否进口:否 | 加工定制:否 | 品牌:光驰 |
电镀位置:轮镀 | 镀种:真空镀膜 | 镀膜材质:其他超硬功能性金属膜 |
镀膜原理:蒸发镀膜 | 型号:OFTC-1800 | 电镀电源:直流电源 |
机器配置如下:
真空室:SUS304,Ф1550*1800MM |
工件架:Ф1600 |
工件架转速:10rpm to 30rpm (可变) |
光学膜厚控制:HOM2- -R -VIS350A |
光学膜厚监控仪:波长范围: 350nm to 1100nm |反射式 |
水晶式膜厚计:XTC/3+6点式水晶传感器 |
蒸发源:2套日本电子24P双枪 |
离子源:23寸光驰RF离子源 |
排气系统:机械泵1个,扩散泵Polycold 日本爱发科2401+1200A |
性能 |
达到压力:7. 0X10-5Pa以下 |
排气时间:20分(大气压~1. 3X 10-3Pa) |
基板温度:: 350C |
工作条件 |
电源:3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA |
水流量:180升/分以上 |
空气压力:0.5MPa以上 |
重量:约11000kg |
二手镀膜机清单:
品牌 | 型号 | 数量 |
韩国SNTEK | 2050 | 1台 |
莱宝 | APS1104 | 1台 |
SIT磁控机 | SIT-2050 | 2台 |
联合 | UNIVAC-2050 | 2台 |
龙翩 | LP-1800EBA | 2台 |
龙翩 | LP-1650EBA | 3台 |
龙翩 | LP-1400EBA | 1台 |
光驰 | OTFC-1300 | 2台 |
韩一 | HVC-1200DA | 1台 |
韩一 | HVC-1600DA | 5台 |
韩一 | HVC-2050DA | 3台 |
韩一 | HVC-2050DA |