| 品牌：韩国韩一 | 型号：HVC-1600DA | 规格：1600mm |
| 规格尺寸：1600mm | 离子源：韩一，（霍尔） | 机械泵：爱德华EM275 |
| 罗茨泵：爱德华EM2600 | 深冷：韩国V-PLUS1000H |
耐久性
P采取***设计技法 在 Chamber 及 Door 防止 Crack, 具备坚固的门
***薄膜均匀性及重复性
按照物质分蒸发特性采用可变修正板*** Dome 全体的均匀性, Batch 之间质量无变.
简便性
不熟练工作人员也会使用, 可以按使用者的要求来控制项目，显示出发生故障时 原因及解决方案.
提供工艺管理
提供 Process recipe 及 Data Logging，很容易管理工艺和质量.
大量生产对应
按照验收标准进行***的验收，交付设备反映了客户要求事项，安装后短时间内可以大量生产.
机器配置：
| MODEL | HVC-1600DA | |
| EB（电子枪） | 1GUN，，韩一 12穴 | |
| 离子源 | 韩一，（霍尔） | |
| 机械泵 | 爱德华EM275 | |
| 罗茨泵 | 爱德华EM2600 | |
| 深冷 | 韩国V-PLUS1000H | |
| 晶控 | XTC/3S + 单探头 | |
| 加热方式 | 下加热卤灯 | |
| 阻蒸 | 无 |
