产品特性:高端镀膜机 | 新旧程度:9成新 | 型号:OTFC-1550 |
设备所在地:江苏 | 设备生产产地:日本 | 产品数量:5 |
转让二手真空镀膜机,
配置如下 :
真空室:SUS304,Ф1550*1800MM |
工件架:Ф1400 |
工件架转速:10rpm to 30rpm (可变) |
光学膜厚控制:HOM2- -R -VIS350A |
光学膜厚监控仪:波长范围: 350nm to 1100nm |反射式 |
水晶式膜厚计:XTC/3+6点式水晶传感器 |
蒸发源:2套日本电子24P双枪 |
离子源:17寸光驰RF离子源 |
排气系统:机械泵1个,扩散泵Polycold 日本爱发科2401+1200A |
性能 |
达到压力:7. 0X10-5Pa以下 |
排气时间:20分(大气压~1. 3X 10-3Pa) |
基板温度:: 350C |
工作条件 |
电源:3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA |
水流量:180升/分以上 |
空气压力:0.5MPa以上 |