| 产品特性：高端镀膜机 | 新旧程度：9成新 | 型号：OTFC-1550 |
| 设备所在地：江苏 | 设备生产产地：日本 | 产品数量：5 |
转让二手真空镀膜机，
配置如下 ：
| 真空室：SUS304,Ф1550*1800MM |
| 工件架：Ф1400 |
| 工件架转速：10rpm to 30rpm (可变) |
| 光学膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A |
| 光学膜厚监控仪：波长范围: 350nm to 1100nm |反射式 |
| 水晶式膜厚计：XTC/3+6点式水晶传感器 |
| 蒸发源：2套日本电子24P双枪 |
| 离子源：17寸光驰RF离子源 |
| 排气系统：机械泵1个，扩散泵Polycold 日本爱发科2401+1200A |
| 性能 |
| 达到压力：7. 0X10-5Pa以下 |
| 排气时间：20分(大气压~1. 3X 10-3Pa) |
| 基板温度：: 350C |
| 工作条件 |
| 电源：3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA |
| 水流量：180升/分以上 |
| 空气压力：0.5MPa以上 |
