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滤光片镀膜机 二手光驰1550真空镀膜机
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滤光片镀膜机 二手光驰1550真空镀膜机

光驰1550镀膜机

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  • 地   址:
    广东 东莞 茶山镇 茶山镇黄岭路62号
产品特性:高端镀膜机新旧程度:9成新型号:OTFC-1550
设备所在地:江苏设备生产产地:日本 产品数量:5

转让二手真空镀膜机,

配置如下 :

真空室:SUS304,Ф1550*1800MM
工件架:Ф1400
工件架转速:10rpm to 30rpm (可变)
光学膜厚控制:HOM2- -R -VIS350A
光学膜厚监控仪:波长范围: 350nm to 1100nm |反射式
水晶式膜厚计:XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源:2套日本电子24P双枪
离子源:17寸光驰RF离子源
排气系统:机械泵1个,扩散泵Polycold  日本爱发科2401+1200A
性能
达到压力:7. 0X10-5Pa以下
排气时间:20分(大气压~1. 3X 10-3Pa)
基板温度:: 350C
工作条件
电源:3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA
水流量:180升/分以上
空气压力:0.5MPa以上





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