| 新旧程度：9成新 | 型号：OWLS-1800 | 设备所在地：浙江 |
| 设备生产产地：中国 | 产品数量：1 | 真空腔体装片室：宽820mm×高1455 mm×深740 mm |
| 运送室：宽1070×高480×深1070mm | 工艺室：宽2540×高745×深2285mm | 基板夹具：10片（12英寸） |
| 基板旋转滚筒系统：直径1800 mm×高48 mm | 溅射源：双旋转阴极（可选平面靶材 |
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OWLS-1800是专用于“半导体光学器件”的金属模式溅射系统，适用于12英寸的晶圆。该溅射系统可以扩展应用范围（同时双倍尺寸镀膜，低温镀膜等）
适用于多种晶圆尺寸（12“，10”，8“，6”和4“）
真空晶圆搬运机械手快速清洁的转移系统
3个双旋转圆柱阴极
高反应性等离子体源实现低吸收膜
其他模块，例如光学厚度监控仪（可选）
适用于EFEM并符合SEMI标准
性能
极限压力装片室：10Pa
工艺室：≤5.0 × 10-4 Pa
抽气速率装片室，运送室：5分钟 (从大气到 10Pa)
工艺室：≤40分钟(从大气到5.0×10-3 Pa)
